芯片制造 : 半导体工艺制程实用教程 : 第6版2014.10(美) 赞特 (Zant,P.V.) , 著 半导体芯片制造技术2012.3杜中一, 主编 半导体制造工艺2015.8张渊, 主编 半导体制造工艺2010.10张渊, 主编 半导体制造工艺基础2019.7(美) 施敏, (美) 梅凯瑞, 著 芯片制造2010.7(美) 赞特 (Zant,P.V.) , 著 半导体制造工艺基础2007.4(美) 施敏, (美) 梅凯瑞, 著 半导体制造工艺控制理论2018.4王少熙, 等著 半导体制造技术2018.5梁程华, 主编 半导体光学：第3版2007.(德) 克林舍恩 (Klingshirn,C.F.) , 编著 半导体制造系统调度2006.10吴启迪等, 著 半导体制造技术2009.07(美) 夸克 (Quirk,M.) , (美) 瑟达 (Serda,J.) , 著 半导体制造系统智能调度2015.吴启迪, 李莉, 乔非, 于青云, 著 半导体制造技术2004.01(美) 夸克 (Quirk,M.) 等, 著 半导体制造技术2006.06(美) 夸克 (Quirk,M.) 等, 著