半导体工艺与测试实验2015.3谢德英, 陈晖, 黄展云, 陈军, 编 硅基集成芯片制造工艺原理2020.5李炳宗, 茹国平, 屈新萍, 蒋玉龙, 编著 半导体器件新工艺2008.梁瑞林, 编 电力半导体元件制造工2015.6中国北车股份有限公司, 编写 航空制造技术2013.12北京航空制造工程研究所, 主编 可重入制造系统的控制2008.张洁, 吴立辉, 翟文斌, 著 芯片制造2014.10(美) 赞特 (Zant,P.V.) , 著 半导体晶片清洗2012.7(美) 克恩 (Kern,W.) , 主编 航空制造工程手册2016.9《航空制造工程手册》总编委会, 主编 半导体器件物理教程2008.07裴素华等, 编著 半导体材料2004.07邓志杰, 郑安生, 编著 芯片先进封装制造2019.11姚玉, 周文成, 主编 全球半导体晶圆制造业版图2015.10中国半导体行业协会集成电路分会, 江苏省半导体行业协会, 编 半导体物理与集成电路制程技术2019.10张国基, 林聿中, 潘正祥, 著 半导体物理2005.09季振国, 编著