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现代集成电路制造工艺原理2007.02李惠军, 编著 集成电路制造工艺2007.09史小波, 曹艳, 编著 集成电路制造工艺2015.5刘新, 彭勇, 蒲大雁, 主编 集成电路制造工艺2014.7孙萍, 主编 集成电路制造工艺2005.09林明祥, 编著 集成电路制造工艺员2006.邓善修, 编著 纳米集成电路制造工艺2014.张汝京, 编著 纳米集成电路制造工艺2016.张汝京, 等编著 集成电路制造技术2016.3杜中一, 著 集成电路制造技术2017.张亚非, 段力, 编著 集成电路芯片制造2018.杨发顺, 编著 MOS集成电路工艺与制造技术2011.9潘桂忠, 编著 集成电路制造工艺技术体系2016.10严利人, 周卫, 著 集成电路制造工艺与工程应用2018.7温德通, 编著 现代集成电路制造技术原理与实践2009.05李惠军, 编著
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