集成电路制造技术2010.9王蔚, 田丽, 任明远, 编著
集成电路制造技术2013.6王蔚, 田丽, 任明远, 编著
集成电路制造技术2015.3王蔚, 等编著
集成电路芯片制造工艺技术2011.5李可为, 主编
集成电路工艺实验2015.4谭永胜, 方泽波, 主编
集成电路制造技术教程2014.李惠军, 编著
硅集成电路工艺基础2003.09关旭东, 著
集成电路制造与封装基础2018.8商世广, 等编著
半导体集成电路制造手册2006.10(美) 耿怀玉, 著
半导体集成电路制造技术2006.05张亚非等, 编著
现代半导体集成电路2009.03杨银堂, 朱樟明, 刘帘曦, 编著
硅集成电路工艺基础2014.4关旭东, 编著
集成电路原理与设计2005.甘学温, 赵宝瑛, 著
现代集成电路版图设计2009.07姜岩峰, 编著
集成电路原理及应用2008.01谭博学, 苗汇静, 主编