微系统原理与技术2005.02傅建中, 胡旭晓, 编著 微机接口技术实用教程2011.任向民, 王克朝, 宗明魁, 编著 机电应用技术2009.05李允志, 主编 机电实用技术2009.8李光辉, 主编 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统2010.3(英) 张 (Cheung,R.) , 著 微机原理与接口技术2017.2张卫, 姜峰, 杨彦鑫, 主编 微系统设计与制造2015.12王喆垚, 编著 微系统设计与制造2007.王喆垚, 编著 MEMS技术前沿与应用发展2019.10尤政, 赵嘉昊, 编著 微电子制造技术概论2009.9严利人, 周卫, 刘道广, 编著 微机原理与接口技术2003.03李青, 编著 微电子技术概论2006.04常青, 著 MEMS集成设计技术及应用2014.11苑伟政, 谢建兵, 焦文龙, 著 泛结构化微机电系统集成设计方法2010.3苑伟政, 常洪龙, 著 非硅MEMS技术及其应用2014.陈文元, 张卫平, 陈迪, 著