微机电系统概论2019.1邱丽芳, 谢仲添, 主编 微机电系统力学2008.03高世桥, 刘海鹏, 著 微机电系统与微细加工技术2008.07朱荻等, 编 微机电系统与设计2010.5娄利飞, 编著 微机电系统封装2005.(美) 徐泰然, 主编 微机硬件技术基础2004.08《微机硬件技术基础》编委会, 编 微机电系统设计与制造2004.03莫锦秋, 梁庆华, 汪石刚, 编著 微机电系统及工程应用2015.6莫锦秋, 梁庆华, 王石刚, 编著 微机电耦合动力学2015.5许立忠, 孙丽波, 著 微机电系统设计与加工2009.11(美) 盖德 (Gad-el-Hak,M.) , 编 微机电系统集成与封装技术基础2007.03娄文忠, 孙远强, 编著 硅微机械加工技术2006.08(德) 温斯波克, 著 微机电系统设计与制造2005.09刘晓明, 来钟淦, 编著 微机电系统机械学2012.张向军, 编著 微机电系统动力学2008.孟光, 张文明, 编著