微机控制技术及应用2003.11韩金立, 赵德申, 主编
微机测控技术2005.08高春甫, 艾学忠, 编著
微传感器 微电子机械系统与智能器件2007.01(英) 加德纳, (美) 瓦拉丹, (美) 阿瓦迪里姻, 著
冶金机电设备标准汇编2014.10冶金机电标准化技术委员会, 编
MEMS技术及应用2018.8蒋庄德, 林启敬, 卢德江, 田边, 王久洪, 著
微电子机械系统力学性能及尺寸效应2009.01刘凯, 韩光平, 著
机电技术基础2015.4刘文杰, 主编
微电子理论及应用2003.05沈桂芬, 编著
微电子材料与工艺2005.02陈力俊, 主编
机电技术概论2015.12滕士雷, 邢丽华, 主编
微机控制技术及应用2004.07林敏, 主编
微系统和纳米技术2006.10周兆英, 王中林, 林立伟, 主编
电网微机保护测试技术2005.韩笑, 赵景峰, 邢素娟, 主编
热学微系统技术2007.刘静, 编著
精微视界2018.7王培华, 编著