硅MEMS工艺与设备基础2018.12阮勇, 尤政, 编著 硅集成电路工艺基础2003.09关旭东, 著 MEMS材料与工艺手册2014.3(美) 格迪斯 (Ghodssi,R.) , (美) 林斌彦 (Lin,P.) , 著 硅集成电路工艺基础2014.4关旭东, 编著 有机硅化学与工艺2011.8来国桥, 等编著 非硅MEMS技术及其应用2014.陈文元, 张卫平, 陈迪, 著 电镀工艺与设备2005.08冯立明, 主编 制药设备与工艺2020.2陈宇洲, 主编 建筑地基基础设计计算条文与算例2015.2《建筑地基基础设计计算条文与算例》编委会, 编 电子工艺与设备2008.03李光兰, 主编 油库工艺与设备2020.4贾如磊, 主编 地基基础设计计算与实例2008.06《地基基础设计计算与实例》编委会, 编 油库工艺与设备2012.9贾如磊, 龚辉, 主编 微机电系统（MEMS）工艺基础与应用2015.1邱成军, 曹姗姗, 卜丹, 编著 发酵工艺与设备2011.7陶兴无, 主编