硅集成电路工艺基础2003.09关旭东, 著
硅集成电路工艺基础2014.4关旭东, 编著
硅基射频集成电路和系统2020.4廖怀林, 著
集成电路工艺实验2015.4谭永胜, 方泽波, 主编
集成电路制造工艺2007.09史小波, 曹艳, 编著
集成电路制造工艺2015.5刘新, 彭勇, 蒲大雁, 主编
硅集成电路中的ESD技术2014.12胡封林, 李勇, 韩龙, 刘蓉容, 屈婉霞, 译著
集成电路制造工艺2014.7孙萍, 主编
集成电路制造工艺2005.09林明祥, 编著
集成电路制造工艺员2006.邓善修, 编著
纳米集成电路制造工艺2014.张汝京, 编著
纳米集成电路制造工艺2016.张汝京, 等编著
硅基功率集成电路设计技术2019.9孙伟锋, 等著
现代集成电路制造工艺原理2007.02李惠军, 编著
集成电路版图基础2020.1(美) 克里斯托弗·赛因特 (Christorpher Saint) , (美) 朱迪·赛因特 (Judy Saint) , 著