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碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法2013.11李圣怡, 等著
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微机电系统及工程应用2015.6莫锦秋, 梁庆华, 王石刚, 编著
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泛结构化微机电系统集成设计方法2010.3苑伟政, 常洪龙, 著
微机电技术2014.7田文超, 娄利飞, 编著
飞机环境综合监视系统2018.肖刚, 程宇峰, 编著
硅MEMS工艺与设备基础2018.12阮勇, 尤政, 编著