碳化硅半导体材料与器件2012.8(美) 舒尔 (Shur,M.) , 等主编
微机电系统力学2008.03高世桥, 刘海鹏, 著
碳化硅/硅纳米异质结阵列的制备和物性研究2017.4王海燕, 著
微机电系统2011.3苑伟政, 乔大勇, 编著
微机电系统基础2013.1(美) 刘昶, 著
微机电系统基础2017.1(美) 盖德 (Mohamed Gad-el-Hak) , 主编
微机电系统封装2005.(美) 徐泰然, 主编
微机电系统原理2014.4(韩) 李基邦, 著
碳化硅复合材料反射镜及支撑结构材料2019.7刘荣军, 等著
微机电系统基础2007.09(美) 刘 (Liu,C) , 著
微机电系统基础2008.01(美) 刘昶 (Chang,L.) , 著
微机电系统概论2019.1邱丽芳, 谢仲添, 主编
三维互联结构碳化硅金属复合材料2019.5喻亮, 姜艳丽, 著
微机电系统应用2009.04(美) 穆罕默德, 编
微机电系统设计与加工2009.11(美) 盖德 (Gad-el-Hak,M.) , 编