现代集成电路制造技术原理与实践2009.05李惠军, 编著
现代集成电路制造工艺原理2007.02李惠军, 编著
集成电路制造技术2016.3杜中一, 著
集成电路制造技术2017.张亚非, 段力, 编著
集成电路制造技术2010.9王蔚, 田丽, 任明远, 编著
集成电路制造技术2013.6王蔚, 田丽, 任明远, 编著
集成电路制造技术2015.3王蔚, 等编著
集成电路芯片制造2018.杨发顺, 编著
集成电路制造技术教程2014.李惠军, 编著
集成电路制造工艺2005.09林明祥, 编著
MOS集成电路工艺与制造技术2011.9潘桂忠, 编著
MOS集成电路结构与制造技术2009.11潘桂忠, 编著
现代集成电路测试技术2005.12时万春等, 编著
集成电路制造工艺2007.09史小波, 曹艳, 编著
半导体集成电路制造技术2006.05张亚非等, 编著