微纳加工科学原理2010.6唐天同, 王兆宏, 著 超快激光微纳加工2016.7程亚, 等著 微纳制造2007.01(美) 杰克逊 (Jackson,M.J.) , 编著 微纳粉体加工技术与装备2019.8俞建峰, 宋明淦, 主编 微细加工与微纳加工技术及应用2020.7赵波, 等编著 微纳电子学2013.6中国科学院, 编 微纳机电系统与微纳传感器技术2020.6国家自然科学基金委员会, 中国科学院, 编 流体辅助微纳抛光原理与技术2014.5程灏波, 著 聚焦离子束微纳加工技术2006.11顾文琪, 马向国, 李文萍, 著 微加工导论2006.01(芬) 弗兰西拉 (Franssila,S.) , 著 微纳检测技术2008.11胡小唐, 编著 微纳米加工技术及其应用2020.6崔铮, 著 光学投影曝光微纳加工技术2006.10姚汉民, 胡松, 邢廷文, 著 激光精确微加工2014.10(日) 杉冈幸次, (加) 梅乌涅尔 (Meunier,M.) , (美) 皮凯 (Pique,A.) , 主编 新工科化工原理实验2020.1张洪利, 主编