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热学微系统技术2007.刘静, 编著
MEMS和微系统2004.01(美) 徐泰然, 著
微系统光学检测技术2014.2(德) 奥斯腾 (Osten,W.) , 主编
微系统封装技术概论2006.金玉丰, 王志平, 陈兢, 编著
微纳系统技术与应用2011.9姚军, 汪为民, 编著
微光机电系统2009.06(美) 莫塔麦迪 (Motamedi,M.E.) , 著
微光机电系统2006.06张文栋, 熊继军, 编著
微系统原理与技术2005.02傅建中, 胡旭晓, 编著
微系统封装原理与技术2006.08邱碧秀, 著
微机电系统与微细加工技术2008.07朱荻等, 编
光子微系统2011.6(挪威) 索格尔德 (Solgaard,O.) , 著
微系统和纳米技术2006.10周兆英, 王中林, 林立伟, 主编
微系统和纳米技术2011.周兆英, 王中林, 林立伟, 主编
毫米波通信技术与系统2003.07甘仲民, 编著