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微机系统与接口技术2011.11熊江, 成运, 洪刚, 主编
微机系统与接口2007.10艾德才, 主编
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MEMS和微系统2004.01(美) 徐泰然, 著
微机系统与接口技术2009.05颜志英, 杨东勇, 编著
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