微机电系统（MEMS）工艺基础与应用2015.1邱成军, 曹姗姗, 卜丹, 编著 微机电系统（MEMS）2020.5(美) 维卡斯·乔杜里 (Vikas Choudhary) , (加) 克日什托夫·印纽斯基 (Krzysztof Iniewski) , 主编 微机电系统（MEMS）制造技术2014.3苑伟政, 乔大勇, 著 微机电系统基础2013.1(美) 刘昶, 著 微机电系统基础2017.1(美) 盖德 (Mohamed Gad-el-Hak) , 主编 微机电系统基础2007.09(美) 刘 (Liu,C) , 著 微机电系统基础2008.01(美) 刘昶 (Chang,L.) , 著 微机电系统（MEMS）原理、设计和分析2009.04田文超, 著 微机电系统应用2009.04(美) 穆罕默德, 编 微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南2014.11(美) 库比 (Kubby,J.A.) , 著 硅MEMS工艺与设备基础2018.12阮勇, 尤政, 编著 微机电系统封装2005.(美) 徐泰然, 主编 微机电系统设计2010.11卢桂章, 赵新, 著 微机电系统工程基础2009.05王琪民, 刘明侯, 秦丰华, 编著 微机电系统技术基础2006.石庚辰, 郝一龙, 编