微纳机电系统力学2018.9高世桥, 金磊, 刘海鹏, 牛少华, 主编 微机电系统与微细加工技术2008.07朱荻等, 编 机电系统设计基础2014.4杨运强, 于翔, 阎绍泽, 王仪明, 编著 微机电系统集成与封装技术基础2007.03娄文忠, 孙远强, 编著 MEMS系统级建模2017.7(德) 塔玛拉·贝克唐德 (Tamara Bechtold) , (德) 加布里尔·施拉德 (Gabriele Schrag) , 冯丽红, 著 微机电系统（MEMS）原理、设计和分析2009.04田文超, 著 微纳机电系统与微纳传感器技术2020.6国家自然科学基金委员会, 中国科学院, 编 微光机电系统2009.06(美) 莫塔麦迪 (Motamedi,M.E.) , 著 电力系统理论精析2014.10周荣光, 著 微光机电系统2006.06张文栋, 熊继军, 编著 机电系统仿真与设计2006.张立勋, 董玉红, 著 机电系统控制基础2018.9董惠娟, 石胜君, 彭高亮, 主编 机电系统控制基础2016.8彭高亮, 石胜君, 董惠娟, 主编 电子封装、微机电与微系统2012.1田文超, 编著 机电系统与设备2018.7(美) 谢尔盖·雷舍夫斯基 ((ergey E. Lyshevski) , 著