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生物微机电系统2007.(德) 厄本 (Urban,G.A.) , 编著
微机电系统动力学2008.孟光, 张文明, 编著
微机电系统设计与制造2004.03莫锦秋, 梁庆华, 汪石刚, 编著
微机电系统及工程应用2015.6莫锦秋, 梁庆华, 王石刚, 编著
微机电系统（MEMS）工艺基础与应用2015.1邱成军, 曹姗姗, 卜丹, 编著
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泛结构化微机电系统集成设计方法2010.3苑伟政, 常洪龙, 著
微机电技术2014.7田文超, 娄利飞, 编著
微机电系统设计与制造2005.09刘晓明, 来钟淦, 编著
微机电系统（MEMS）制造技术2014.3苑伟政, 乔大勇, 著
微机电系统机械学2012.张向军, 编著
微机电技术2003.04张志诚, 编著
机电系统设计基础2019.8冯华山, 著
微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南2014.11(美) 库比 (Kubby,J.A.) , 著