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微传感器、微机电系统和灵巧器件2004.( ) 加德纳 (Gardner,J.W.) , ( ) 瓦拉旦 (Varadan,V.K.) , ( ) 韦德尔卡姆 (Wadelkarim,O.A.) , 著 微纳机电系统与微纳传感器技术2020.6国家自然科学基金委员会, 中国科学院, 编 微传感器 微电子机械系统与智能器件2007.01(英) 加德纳, (美) 瓦拉丹, (美) 阿瓦迪里姻, 著 微机械传感器2003.07(荷) 埃尔文斯波克, (荷) 威杰林克, 著 微纳机电生物传感器2015.6(法) 尼库, (法) 雷克列, 著 传感器系统2019.3(加) 克拉伦斯·W.德席尔瓦 (Clarence W. de Silva) , 著 微传感器2005.章吉良, 周勇, 戴旭涵, 编著 微纳传感器及其应用2009.7张海霞, 编著 CCD图像传感器技术与应用2004.06CCD图像传感器国家级重点实验室, 编 机电系统中的传感器与驱动器2011.7(波) 帕拉克 (Pawlak,A.M.) , 著 应变片-传感器-微传感器技术2017.4尹福炎, 编著 硅微机械传感器2012.12郑志霞, 著 NEMS传感器的研制与应用2017.1谭苗苗, 著 MEMS传感器技术2015.8湛邵斌, 聂萌, 著 传感器元件与实验2018.5沈月荣, 主编
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