单晶硅超精密加工技术仿真2020.4史立秋, 著
超精密加工技术2018.12郭贵中, 著
精密和超精密加工技术2018.12管文, 主编
精密和超精密加工技术2007.05袁哲俊, 王先逵, 主编
精密和超精密加工技术2016.1袁哲俊, 王先逵, 主编
精密超精密加工技术新进展2016.8杨辉, 编著
直拉单晶硅工艺技术2009.07黄有志, 王丽, 主编
直拉单晶硅工艺技术2017.7黄有志, 王丽, 主编
精密刻划与超精密特种加工技术2016.4马宏, 董连和, 白素平, 孙艳军, 王劲松, 王丽, 编著
超精密加工技术与设备2006.03文秀兰等, 编著
精密切削与光整加工技术2006.01郑文虎, 编
精密刻划与超精密特种加工技术2008.07马宏等, 编著
单晶硅与多晶硅生产技术问答2012.1刘寄声, 编著
长脉冲激光对单晶硅的损伤机制仿真研究2019.5郭明, 张永祥, 著
磁场辅助超精密光整加工技术2009.01尹韶辉, 著