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半导体集成电路制造手册2006.10(美) 耿怀玉, 著
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半导体集成电路2011.7余宁梅, 杨媛, 潘银松, 编著
半导体集成电路2000.朱正涌, 编著
半导体集成电路2015.8陆建恩, 等编著
半导体集成电路2019.11居水荣, 等编著
现代半导体集成电路2009.03杨银堂, 朱樟明, 刘帘曦, 编著
现代集成电路半导体器件2012.7(美) 胡正明, 著
半导体物理与集成电路制程技术2019.10张国基, 林聿中, 潘正祥, 著
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集成电路制造技术2017.张亚非, 段力, 编著
集成电路中的现代半导体器件2011.11(美) 胡正明, 著
集成电路制造技术2010.9王蔚, 田丽, 任明远, 编著
集成电路制造技术2013.6王蔚, 田丽, 任明远, 编著