半导体微系统制造技术2015.5刘斌, 主编 半导体微纳制造技术及器件2020.9云峰, 李强, 王晓亮, 著 半导体制造技术2009.07(美) 夸克 (Quirk,M.) , (美) 瑟达 (Serda,J.) , 著 半导体制造技术2004.01(美) 夸克 (Quirk,M.) 等, 著 半导体制造技术2006.06(美) 夸克 (Quirk,M.) 等, 著 半导体制造技术2015.6(美) 夸克 (Quirk,M.) , (美) 瑟达 (Serda,J.) , 著 半导体制造技术2018.5梁程华, 主编 半导体制造系统调度2006.10吴启迪等, 著 半导体制造技术导论2013.1(美) 萧宏, 著 半导体照明2005.国家半导体照明工程研发及产业联盟, 上海光电子行业协会, 编 半导体制造系统智能调度2015.吴启迪, 李莉, 乔非, 于青云, 著 半导体制造工艺2010.10张渊, 主编 半导体照明技术2009.05方志烈, 编著 半导体照明技术2018.5方志烈, 编著 半导体科学与技术2017.1何杰, 夏建白, 主编