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电子束－曝光－研究
2004年
2004
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电子束曝光微纳加工技术
本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制，积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的...
2004.
按中图号分类
中图号G634
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