本书系统介绍了谐振传感器的基本理论，设计实现方法以及工程应用技术等。
2008.03
本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。本书从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述...
2012.12