现代集成电路制造工艺原理2007.02李惠军, 编著
集成电路制造工艺与工程应用2018.7温德通, 编著
MOS管集成电路设计2011.11梁竹关, 赵东风, 编著
集成电路芯片制造工艺技术2011.5李可为, 主编
集成电路制造技术教程2014.李惠军, 编著
集成电路芯片制造2018.杨发顺, 编著
硅集成电路工艺基础2003.09关旭东, 著
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现代集成电路制造技术原理与实践2009.05李惠军, 编著
集成电路芯片制造实用技术2011.8卢静, 主编
半导体集成电路制造手册2006.10(美) 耿怀玉, 著
最新集成电路测试技术2009.01高成, 张栋, 王香芳, 编著
硅集成电路工艺基础2014.4关旭东, 编著