MOS集成电路工艺与制造技术2011.9潘桂忠, 编著
MOS集成电路结构与制造技术2009.11潘桂忠, 编著
集成电路制造工艺技术体系2016.10严利人, 周卫, 著
纳米集成电路制造工艺2014.张汝京, 编著
纳米集成电路制造工艺2016.张汝京, 等编著
最新集成电路测试技术2009.01高成, 张栋, 王香芳, 编著
半导体集成电路制造手册2006.10(美) 耿怀玉, 著
现代集成电路制造工艺原理2007.02李惠军, 编著
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