工程纳米测量基础2017.12(英) 理查德·利奇, 著
精密加工实用技术2005.05杨江河, 程继学, 编
精密刻划与超精密特种加工技术2016.4马宏, 董连和, 白素平, 孙艳军, 王劲松, 王丽, 编著
超快激光微纳加工2016.7程亚, 等著
精密刻划与超精密特种加工技术2008.07马宏等, 编著
机械加工精度测量及质量控制2020.6薛岩, 等编著
磁场辅助超精密光整加工技术2009.01尹韶辉, 著
精密与特种加工技术2011.6明平美, 主编
精密加工与特种加工2014.11陈远龙, 朱永伟, 主编
微纳加工科学原理2010.6唐天同, 王兆宏, 著
精密与特种加工技术2017.8明平美, 郑建新, 主编
微纳制造2007.01(美) 杰克逊 (Jackson,M.J.) , 编著
精密与特种加工技术2007.06袁根福, 祝锡晶, 主编
精密热加工新技术2016.5苑世剑, 等著
单晶硅超精密加工技术仿真2020.4史立秋, 著