微机电系统2011.3苑伟政, 乔大勇, 编著 精微视界2018.7王培华, 编著 功率微电子器件原理2008.12万积庆, 编著 三维集成硅通孔技术2014.5(美) 刘汉诚, 著 微电子学概论2004.10张兴, 黄如, 刘晓彦, 编著 微系统设计与制造2015.12王喆垚, 编著 微系统设计与制造2007.王喆垚, 编著 微电子元器件的数值模拟仿真2019.11江五贵, 李刚龙, 廖述梅, 著 微电子学概论2010.2张兴, 黄如, 刘晓彦, 编著 热学微系统技术2007.刘静, 编著 MEMS集成设计技术及应用2014.11苑伟政, 谢建兵, 焦文龙, 著 绿色微纳电子学2010.7王阳元, 主编 非硅MEMS技术及其应用2014.陈文元, 张卫平, 陈迪, 著 微电子学导论2014.3赵策洲, 方舟, 陆骐峰, 编著 微传感器　微电子机械系统与智能器件2007.01(英) 加德纳, (美) 瓦拉丹, (美) 阿瓦迪里姻, 著