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机电系统技术2012.张君艳, 主编 泛结构化微机电系统集成设计方法2010.3苑伟政, 常洪龙, 著 微机电系统设计与制造2005.09刘晓明, 来钟淦, 编著 微电子机械系统2006.01姜岩峰, 编著 微机电系统机械学2012.张向军, 编著 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用2013.11张海霞, 缪旻, 方东明, 著 机电系统设计2013.3秦大同, 谢里阳, 主编 机电系统设计基础2019.8冯华山, 著 微电机类产品技术应用专集2005.12全国微电机标准化技术委员会, 编 MEMS和微系统2004.01(美) 徐泰然, 著 机电系统设计2014.12闻邦椿, 主编 微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南2014.11(美) 库比 (Kubby,J.A.) , 著 微纳机电系统力学2018.9高世桥, 金磊, 刘海鹏, 牛少华, 主编 微纳机电系统与微纳传感器技术2020.6国家自然科学基金委员会, 中国科学院, 编 机电系统设计基础2014.4杨运强, 于翔, 阎绍泽, 王仪明, 编著
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