第三代半导体材料发展态势分析2020.5第三代半导体材料发展态势分析项目组, 编著 半导体制造工艺基础2007.4(美) 施敏, (美) 梅凯瑞, 著 纳米半导体2009.01马洪磊, 薛成山, 编著 半导体材料2013.1杨树人, 王宗昌, 王兢, 编著 半导体材料2019.12王如志, 刘维, 刘立英, 编著 化合物半导体加工中的表征2013.11(美) 布伦德尔 (Brundle,C.R.) , (美) 埃文斯 (Evans,C.A.) , (美) 麦克盖尔 (McGuire,G.E.) , 主编 物理学习题解答2006.11周逊选, 编著 半导体制造工艺控制理论2018.4王少熙, 等著 日中中日半导体制造技术词典2011.5林少霖, 编 寻梦半导体2019.12朱宏任, 陈玉涛, 著 大学物理学辅导与题解2018.3李元成, 主编 半导体制造与过程控制基础2009.01(美) 梅 (May,G.S.) , (美) 斯帕农斯 (Spanos,C.J.) , 著 大学物理学辅导与题解2010.12饶瑞昌, 吕波, 编 半导体复杂制造系统管理2015.7郭永辉, 著 半导体异相光催化2013.10刘保顺, 赵修建, 著