微机电系统基础

本书是微电子教材。

2007.09

微机电系统基础

本书阐述了微机电系统的基础知识,还涉及微机电系统的前沿和尖端技术。

2008.01

CMOS MEMS技术与应用

本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用,包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的...

2007.06

超声电机技术与应用

本书概略叙述了超声电机的发展,详细地叙述了现有各类超声电机的运动机理、设计、制造和试验技术以及驱动和...

2007.08

MEMS强链及其应用

MEMS强链也称MEMS密码锁,是一种用于高风险系统的高可靠性安全保障的微机电装置,可用于武器装备、弹药库、...

2007.